SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成，具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。應用于生物、醫學、材料和化學等領域。
 

　　SEM掃描電鏡在使用時應需要以下事項：
 

　　1、將試樣置于載物臺墊片，調整粗/微調旋鈕進行調焦，直到觀察到的圖像清晰為止；
 

　　2、調整載物臺位置，找到要觀察的視野，進行分析；
 

　　3、掃描電鏡調焦時注意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡；
 

　　4、當載物臺墊片圓孔中心的位置遠離物鏡中心位置時不要切換物鏡，以免劃傷物鏡；
 

　　5、在做切換動作時，動作要輕，要到位，關機時要將亮度調到小；
 

　　6、亮度調整切忌忽大忽小，也不要過亮，影響燈泡的使用壽命，同時也有損視力；
 

　　7、非專業人員不要調整顯微鏡照明系統(燈絲位置燈)，以免影響成像質量；
 

　　8、更換鹵素燈時要注意高溫，以免灼傷；注意不要用手直接接觸鹵素燈的玻璃體；
 

　　9、設備不使用時及時關掉電源。
 

　　SEM掃描電鏡可通過改變物鏡的透鏡系統人們可以直接放大物鏡的焦點的像，由此人們可以獲得電子衍射像，使用這個像可以分析樣本的晶體結構，在這種掃描電鏡中，圖像細節的對比度是由樣品的原子對電子束的散射形成的，由于電子需要穿過樣本，因此樣本必須薄。樣本的厚度可以從數納米到數微米不等。
 

　　原子量越高、電壓越低，樣本就必須越薄。樣品較薄或密度較低的部分，電子束散射較少，這樣就有較多的電子通過物鏡光欄，參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的部分，在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過密，則像的對比度就會惡化，甚至會因吸收電子束的能量而被損傷或破壞。