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掃描電鏡得出圖像的缺陷解決思路分析

更新時間:2021-04-09      點擊次數:1122
   掃描電鏡是兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發射掃描電鏡,它幾乎集成了當今掃描電鏡的前沿技術,大電流在保證高分辨率的同時,得到高速樣品分析結果,空間分辨率*,對導電性差的樣品也有很多解決辦法。自動化程度高,操作直觀方便,可以稱得上是一款難得的場發射掃描電鏡。
  掃描電鏡的樣品表面凹凸變化大的邊緣區域,二次電子散射區域與樣品表面接近的面積增大,結果使邊緣區域二次電子發射異常地增加。在圖像中這些區域特別亮,造成不自然地反差,稱為“邊緣效應”。
  這雖然并非由于操作引起地圖像缺陷,但可通過適當地操作盡量減少。主要的方法是降低加速電壓,可使邊緣效應相對減輕,由于斷口表面高低不平,邊緣區域由于二次電子發射異常增加導致樣品邊緣異常增亮,無法顯示出樣品細節;邊緣效應明顯減輕,但未能*消除。
  荷電效應、損傷、邊緣效應為掃描電鏡圖像常見的圖像缺陷,這些缺陷一些是人為因素產生,一些則是由于掃描電鏡成像原理而不可避免產生,但我們都能通過一定的方法,如導電法、降低電壓法、快速觀測法等等而消除或減少圖像缺陷的產生。
  實際操作中,對于不同的圖像缺陷,要靈活采用各種不同的方法,反復實驗,并總結、分析各種方法的優劣,才能拍攝出更好、更真實的圖片。

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